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光罩對位曝光機（Aligner）. ‧最小解析度2 um. ‧對位精度2 um. ☆ 自動旋轉塗佈機（Track）. ‧正負型光阻塗佈. ‧聚乙醯胺塗佈. ☆ 薄膜設備.

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