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aligner曝光機
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光刻機_百度百科
光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統,光刻系統等,是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到硅 ...
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