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aligner半導體
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國立東華大學理工學院貴重及共同儀器使用暨管理辦法
英文名稱:mask aligner。 2. 儀器廠牌型號、購置年份 ... 對1-4吋尺寸之單晶矽、IIIV族半導體基板進行曝光。 二、儀器重要規格. 1. 紫外線曝光系統.
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