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aligner半導體
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https://technews.tw/2020/10/22/asml-mask-aligner/
Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越?
半導體 製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板,透過高性能的縮小成像鏡頭,對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。
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