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aligner半導體
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Mechatronic 晶圓處理系統 - 展締科技(原名
... 在半導體業生產環境下,用來取放、分揀、運送、翻轉,對位、包裝的專業設備。 ... 對位儀(pre-aligner),再移送到外觀檢查系統,再返回到晶圓盒FOUP/晶圓匣內。
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