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EVG光罩對準機／EVG Mask Aligner - 成大核設貴儀，基礎研究 ...

微影技術主要是圖案化於所需之基板上，可應用於微流道、半導體晶片，生物感測元件等製作。 本設備可進行微米等級之微影製程且具有對準系統，曝光解析度達2um，服務對象 ...

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