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先進製程新材料特性就靠它來驗| 科技新報 - LINE TODAY

三、與鍍膜速率相關的極薄膜厚度量測. 此外，在ALD 成長的極薄膜（Ultra-thin film）厚度，亦可利用XRD 中的X 光反射光譜（XRR ...

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