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ald鍍膜
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牛津儀器提出新技術解決方案,以提高GaN HEMT 性能 - 知勢
另外,將原子層鍍膜技術應用在GaN元件製作上,主要是將沉積保護層在GaN元件上,O.I所提供的新一代ALD鍍膜設備相較於較前一代設備,不僅能改善約4倍的 ...
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