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後摩爾時代的設備競爭新格局:ALD設備的國產化進擊
作為集成電路先進製程晶圓製造的關鍵設備——薄膜沉積設備的細分領域之一的原子層沉積(ALD)設備,在28nm及以下製程邏輯芯片、DRAM芯片、3D NAND以及 ...
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