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國研院發表12吋叢集式ALD - 產業.科技
相較市面量產型ALD設備,天虹科技機台擁有降低前驅物消耗量設計與相對高產出速度,並可依客戶端製程與產能需求加掛反應室,具備高度可擴充性;而氧化鋁 ...
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