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實現國產化目標中韓合作引進半導體ALD設備 - 壹讀
2018年10月16日,中韓半導體ALD原子層沉積設備國產化項目發布會在深圳市 ... 進入企業驗證機台已累計15台,客戶包括海力士、三星及多家上游特氣材料 ...
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