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第五章晶圓製程設備產業智慧資源規劃實證研究第一節主要設備 ...
此外,也推出新型的離子佈植機與化學機械研磨機台。半導體產業在93 年開始回春, ... 作電容層,因此ALD 被視為是半導體進入45、32 奈米製程必要也是唯一解決方法。
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