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ald原子層沉積
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原子層沉積技術設備發展與相關產業應用 - 材料世界網
原子層沉積 (ALD)技術如今備受重視,主要得益於積體電路工業的奈米製程發展對ALD的需求增加,其中已有多項關鍵薄膜製程從傳統CVD或PVD方式改由ALD取代 ...
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