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ald半導體應用
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电极应用氮化钛薄膜原子层沉积中的替代表面反应路线,ACS ...
通过原子层沉积(ALD)生长的氮化钛(TiN)薄膜作为半导体器件应用中的电极材料引起了相当大的关注,例如逻辑晶体管和动态随机存取存储器(DRAM)。
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