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ald半導體應用
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(19) 中華民國智慧財產局(12)發明說明書公告本(11)證書號數
此,存在有對於一種可防止敏感基板損害的半導體薄膜沉積方法之需. 求。在某些實施例中,此方法防止氧化 ... CVD製程相比,ALD製程使用表面介導沉積反應以使薄膜逐層沉積。
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