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R2R ALD、循環式磊晶沉積系統 - 鋰電池

R2R ALD是一種非常高度精密的奈米級薄膜沉積技術，藉由精密控制氣體反應於材料表面 ... 普及，直至本公司成功的開發了R2R ALD系統得以完美的解決困擾業界已久的問題。

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