(Atomic Layer Deposition, ALD)之此項特性. 與其成長速率幾成反比,並分別應用於大 ... 子厚之薄膜,如圖1所示ALD鍍膜厚度精 ... 轉國內真空系統製造公司。另外在奈米結.
確定! 回上一頁