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AKT®-PX PECVD | Applied Materials

應用材料的AKT-PX 系列PECVD 系統可在1.6 - 5.7m2（5 代線至8.5 代線）的玻璃基板上，沉積高度均勻的低溫多晶矽(LTPS) 薄膜。

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