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液空集團電子事業強化高介電常數鋯基介電材料之前驅物專利組合

亞東工業氣體法國母公司液空集團(Air Liquide)全球電子事業，宣布中國國家智慧財產權局已授予ZyALD在半導體製程應用相關的專利權。

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