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邱博文教授研究團隊

在化學氣相沈積方面，與台積電共同合作開發最新的「中性粒子束化學氣相沈積」；在原子層沈積技術方面，與台積電、法商Air Liquide 三方共同成立研發平台開發「選擇性 ...

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