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無塵室- 潔淨設備 - 華湧科技

空調氣流系統 · 作業原理： 將外界空氣以AHU初步過濾後送至單一側牆，透過高覆蓋率之HEPA過濾器或風牆(Fan Wall)之過濾及推動，將潔淨空氣以水平狀態、單方向送至作業區，再 ...

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