X光光電子暨歐傑電子能譜儀(XPS/AES). X光光電子暨歐傑電子能譜儀(XPS/AES) ... AES:場發射式電子槍 ... 試片尺寸:5mm×5mm ~40mm×20mm 抽真空速率:~30分鐘.
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