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俄歇電子能譜| AES服務| EAG實驗室

然而，XPS的最小光束尺寸約為10μm，而AES的最小光束尺寸小於10nm。 ... 俄歇過程在EDS X射線發射中較低的原子序數元素中受到青睞，使得AES比EDS更敏感，可用於分析較輕 ...

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