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國家度量衡標準實驗室運作計畫（第1 年度）

清華大學 光電所師生一行22 人參訪NML，認識國家量測標準。 來訪. 102.06.24 ... 於奈米尺寸的厚度量測主要有以下幾種方式，elliposometer、XPS、MEIS、TEM 及.

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