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材料分析如何協助先進製程設備改善缺陷 - TechNews 科技新報

圖四：Al2O3 與Y2O3 YOF 二種鍍層在含氟基電漿蝕刻後表面XPS 縱深分析的 ... 鍵結量（紅色虛線下的面積）明顯是比Y-O 的（綠色虛線下的面積）多，也 ...

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