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XPS 超薄薄膜分析 - 台灣儀器科技研究中心

X 光光電. 子儀(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS) 是一種 ... XPS 在超薄薄膜厚度量測與界面分析的原理與應 ... 入真空中，此即為一般人所熟知的光電效應，其產.

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