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X射線光電子能譜儀 - 中文百科全書

... 原理是使用X-射線，如Al Ka =1486.6eV，與樣品表面相互作用，利用光電效應，激發樣品 ... XPS：固體樣品的表面組成分析，化學狀態分析，取樣訊息深度為～10nm以內.

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