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XPSによる表面分析の基礎と 分析事例の紹介 - 島津製作所

XPS とは. • 表面分析手法の中の位置づけ. • XPSの基礎. • ABS樹脂の劣化解析. • 定性・定量分析. • 化学結合状態解析. • 3インチウエハー上のNi, Ti, Co合⾦分析.

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