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AES/XPS/SIMS の基礎 - 表面分析研究会 SASJ

（1）原理. XPS は X 線を試料に照射し，各準位にある電子. を真空中に放出させ，その運動エネルギーを測定す. る分光法である．照射するX線のエネルギーhν，放.

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