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https://www.eneos.co.jp/company/rd/technical_review/pdf/vol60_no02_06.pdf
X線光電子分光法(XPS)の紹介 - ENEOS
(図 1 2)). 本稿では、XPS の原理と特徴、導入装置の基本性能と. 特長および分析例について紹介する。 (注)スパッタリング:加速した原子や分子を固体表面に衝突させ.
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