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對準標記_百度百科

然後，光刻機的對準系統(alignment system)做掩模與晶圓的對準。 ... 曝光位置網格的修正(wafer grid correction)和曝光區域內部的修正(intra-field correction)參數 ...

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  1. New wafer alignment process using multiple vision method for industrial manufacturing
    2.