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SORTER - 三和技研股份有限公司

穩定高速. 同時對應8"&12"晶圓的傳送; 內部微環境的潔淨度控制，採以CFD流體分析驗證，並確保內外壓差之設計，使Wafer傳送過程不受汙染; 最佳化的Robot運動軌跡，以 ...

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