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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

( Wafer Die Alignment) 等兩個動作。TTL 對準系統(Through The Lens)選擇He - Ne 氣體雷. 射(波長為632.8nm) 為光源，經由投射透鏡而照射在這些對準圖案(PM Mark)上如 ...

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