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VECTOR系列產品

其他的應用則要求介電層薄膜非常平滑且無缺陷，因為即使是輕微的缺陷，都會在後續的薄膜層上被顯著地放大。 Lam Research的VECTOR® PECVD產品是專為提供所需的效能與靈活性 ...

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