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元智大學加速半導體製程綠色化- 投資理財- 工商時報

... 低碳臭氧水系統，創新技術應用於晶圓清潔製程，可取代高碳臭氧與降低濕式法化學藥劑使用，實踐半導體製程綠色化，獲得國科會科研創業計畫萌芽案肯.

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