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第三章晶圓製程設備產業研究第一節半導體產業特性

Corning 發展的，但由AMAT 將其擴展並成功整合進製程中，其運用的CVD 解. 決方案與傳統的氧化矽製程有許多共通點，可以使製造商較容易從傳統氧化矽製. 程轉移到新的技術。

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