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VLSI製程
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半導體製程技術
有其限制,一般用在積體電路製程最前段。複晶矽薄膜則在積體電路中應用極廣,這要歸功. 於其製程溫度較低,耐高溫,與二氧化矽界面特性佳,可靠度好,而且能均勻覆蓋不 ...
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「VLSI製程」
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