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半导体VCSEL选择氧化型 - 维库电子市场网

选择氧化技术最初是应用于边发射激光器领域中，后来才被引入到VCSEL的制作中 ... 腔的AlGaAs层上能够得到大的氧化范围，即小的氧化孔径，如图2所示。

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