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中科院微电子所研制高功率密度5结级联905nmVCSEL

最后，研究人员制备了19单元5结VCSEL阵列，单元氧化孔径为20μm，制备得到的实际阵列及其尺寸如图4（a）所示。整个阵列有源区的直径为0.214mm，阵列的总 ...

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