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摻磷之SiO2對UV曝光後折射率變化之研究

在論文的安排中吾人在，第二章中則概略描述PECVD的基本原理，第三章主要著重於UV Laser照光、照光前後折射率變化及材料分析，並加入吾人所使用之量測儀器原理描述。

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