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工藝監控:SPC曲線,監視SPC曲線中的異常 - 中文百科全書

SPC表中除了標出目標值之外，還標有上限和下限（Upper/Lower Spec Limit,USL/LSL）。如果測量值大於USL或小於LSL，該晶圓的光刻工藝是失敗的，必須返工。USL/LSL是根據 ...

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