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全球及中国薄膜前体行业需求现状及前景动态分析报告2021 ...

1.2.6 Trisilylamine (TSA). 1.2.7 Hexachlorodisilane (HCDS). 1.2.8 Others. 1.3 从不同应用，薄膜前体主要包括如下几个方面. 1.3.1 Semiconductors.

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