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聯華林德與宇川精密材料共同開發新半導體材料 - Digitimes

... 總計新台幣9,000萬元在台南廠區共同開發三甲矽烷基胺(Trisilylamine；TSA)生產設備及產線，預計每年生產產能可達3.6噸，計劃於2020年第3季投產。

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