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Trisilylamine properties - SpringerMaterials

Trisilylamine · Molecular Formula: H9NSi · Element System: H-N-Si · CAS-RN: – · InChI: InChI=1S/H9NSi3/c2-1(3)4/h2-4H3 · InChI Key: VOSJXMPCFODQAR-UHFFFAOYSA-N.

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