你即將離開本站

並前往https://patents.google.com/patent/TWI478862B/zh

用於製造三矽烷胺（trisilylamine）之設備及方法

三矽烷胺係一種用於半導體製造中之有用的分子。其一旦產生則係穩定的，但在過度的反應條件下易於分解及合成副產物。Dussarrat等人US 7,192,626展示藉由將三矽烷胺及氨 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「Trisilylamine」的人也找了：

  1. trisilylamine中文
    2.
  2. 三矽烷胺
    3.
  3. Trisilylamine wiki
    4.
  4. 三甲矽烷基胺
    5.
  5. 三甲矽烷基胺tsa
    6.
  6. tsa半導體
    7.
  7. 三甲矽烷基胺msds
    8.
  8. TRISILYLAMINE vapor pressure
    9.