高容量、高效率真空入口或排氣Trap保護油封真空pomp和dry pump去除可能破壞真空pump的腐蝕性和磨蝕性粉塵.適用製程LPCVD、PECVD、ALD、MOCVD、金屬蝕刻和HVPE模組化 ...
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