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RAPID THERMAL DIFFUSION OF ZINC ATOMS IN GaAs，InP

本論文主要在探討Zn原子在GaAs，InP和GaP半導體中的快速熱擴散現象。Zn╱和ZnO ╱薄膜以共濺鍍（CO－SPUTTERING）方式，沈積在半導體基底上作為固體擴散源。

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