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TTS系列机器人| 无尘机器人| 产品分类

TTS 系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的 ...

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