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產品資訊- ULVAC - 優貝克科技(CMD Series|)

CMD系列為可以SiH4或是TEOS來進行SiOx及SiNx成膜的單一基板CVD系統。 ... 改進反應室設計及氣體供給系統，對於TEOS (SiO2)膜可以提供長時間安定的成膜速率。

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