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TEOS CVD
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一篇文章读懂低压化学气相沉积(LPCVD) - NAURA创新
顾名思义,化学气相沉积(CVD)就是通过气体混合的化学反应在晶圆表面淀积一层 ... LPCVD广泛用于二氧化硅(LTO TEOS)、氮化硅(低应力)(Si3N4)、 ...
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